与富创精密相呼应的是，沈阳IC装备企业呈现出蒸蒸日上发展态势，一批批订单飞向沈阳，一个个领域在突破。更可贵的是，据不完全统计，前三季度沈阳IC装备企业均以两位数增长，无论规模与发展态势，已稳居北京、上海之后，位列全国三强。

　　人才与技术优势沈阳全有

　　IC装备是装备制造行业技术要求最复杂、难度最高的领域之一，IC产业形成需要数年到十几年的连续积累。非常难得的是，早在几十年前，沈阳就有了这方面积累，因此具备较好的产业基础。

　　众所周知，中国IC装备的“黄埔军校”——中国电子科技集团公司第四十七研究所(又称东北微电子研究所)就坐落在沈阳。四十七所拥有从设计、制造、封装的全线技术，这是一个可以比肩英特尔的公司，可直接设计芯片。目前在全国IC装备产业众多活跃人才，很多都有四十七所工作背景。保守统计，目前全国IC装备方面的核心技术人员40%来自四十七所，辽宁集成电路产业联盟秘书长郑广文说。

　　同时，沈阳拥有发展IC装备产业需要的两种技术支撑：真空技术和自动化技术。国家唯一的真空系博士点和真空所都坐落在沈阳，沈阳还有东大、中科院自动化所及新松机器人自动化方面实力。

　　“历史沉淀，让沈阳拥有了发展IC装备产业基础和技术优势，是向支柱产业迈进的重要条件！”沈阳芯源微电子设备有限公司总经理宗润福深有感触。

　　沈阳IC装备企业增长强劲

　　经历了从无到有，从小到大的发展历程，沈阳抢先全国一步。“更为重要的是，沈阳还抓住了国家发展IC装备产业的机会，获得了发展动力。本世纪以来，国家启动了重大科技专项，沈阳斩获14项，目前已经累计获得国家财政支持7亿多元。”郑广文指出。

　　资料显示，经过近几年国家重大科技专项的实施，沈阳企业基本都完成了预定的科技项目，正在产业化或者已经产业化。比如沈阳的芯源和科仪产品已经产业化，新松的真空机械手和科仪的泵类产品也都已批量化生产。

　　而与富创公司发展势头相似，一批IC装备企业增长强劲，沈阳芯源微电子近期刚收获了来自台湾客户一亿多元的大订单；拓荆公司生产的具有自主知识产权的集成电路专用薄膜设备今年已获得国内第一大芯片代工厂——中芯国际的批量订单……在经济下行情况下，沈阳IC装备产业异军突起，成了一大亮点。

　　面临4000亿元的巨大市场

　　近日，《中国集成电路产业发展纲要》颁布，同时宣布1386亿元的国家集成电路产业基金设立。国家战略进一步为中国IC产业发展提速。

　　更为重要的是推动产业发展的决定力量——市场需求强劲。在刚刚闭幕的IC CHINA 2015高峰论坛上，来自有关专家报告显示，中国目前已经进入集成电路制造的大发展阶段，2014年中国集成电路产业规模达到3015亿元，预计到2020年国内集成电路产业规模将突破7000亿元。

　　巨大的市场需求，为沈阳赢得了一个大发展机会。“未来5年，将会有大量的集成电路企业大量建厂，在集成电路领域有两个60%，就是说，投资建厂100亿元的话，需要设备投入60亿元，按照这个推算的话，7000亿元的产业规模将会推动4000亿元的设备需求。这无疑是沈阳IC装备发展的一个历史机遇，一个历史少有的爆发期。”郑广文说。

　　目前，中国IC装备有十几条生产线正在建设。同时，一个忧虑也出现了：照此建设速度很快IC装备就会像光伏一样面临过剩局面。因此，对沈阳而言，应该树立强烈的危机意识，充分利用自己已积累的优势，全力发展IC装备产业。

　　IC产业爆发期已到，沈阳不能错过这个千载难逢的机会了！

　　(黄超)